真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能

	真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能
	董斌超; 张舸
	2016-10-11
摘要	在常规凝胶注模工艺的基础上,借鉴国外真空辅助注浆工艺,采用真空辅助凝胶注模法制备出超轻量化SiC反射镜。研究了浆料流变性,注浆气压、浆料中气泡等对坯体填充模具效果的影响。发现较小的浆料粘度有利于浆料填充模具;浆料中残存的气泡在真空环境中膨胀,引起浆料填充不完,导致坯体产生缺陷;注浆真空度过小会导致浆料中的有机物沸腾,产生气泡,进而导致导致镜坯出现缺陷。材料中细小SiC颗粒的存在使材料具有相对较高的抗弯强度(335MPa)和断裂韧性(4.5 MPa·m~(1/2));反射镜材料金相组织中未出现明显的SiC颗粒定向排列,具有较好的各向同性度:浆料流动方与其垂直方向热膨胀系数差异小于3%,模量差异为1.3%;镜坯经过光学加工后面形误差(RMS值)为0.043λ(λ=632.8nm),表面粗糙度(Ra值)优于5nm。
关键词	Sic 注浆工艺光学加工抗弯强度定向排列表面粗糙度热膨胀系数流变性面形误差断裂韧性
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57607
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	董斌超,张舸. 真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能[J],2016.
APA	董斌超,&张舸.(2016).真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能..
MLA	董斌超,et al."真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能".(2016).