Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion

	Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion
	F. Chen; D. Fang; S. P. Wang; X. Fang; J. L. Tang; H. F. Zhao; F. Fang; X. Y. Chu; J. H. Li; F. Wang; X. H. Wang; G. J. Liu; X. H. Ma and Z. P. Wei
	2015
发表期刊	Spectroscopy and Spectral Analysis
卷号	35 期号:7
文章类型	期刊
其他摘要	Ｔｈｅ　ｍａｉｎ　ｐｕｒｐｏｓｅ　ｏｆ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ　ｉｓ　ｔｏ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅ　ｔｈｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｐ－ｔｙｐｅ　ＺｎＯ　ｆｉｌｍ　ｂａｓｅｄ　ｏｎ　Ｐ　ｄｏｐｉｎｇ．ＺｎＯ　ｆｉｌｍｗａｓ　ｇｒｏｗｎ　ｂｙ　Ａｔｏｍｉｃ　ｌａｙｅｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＡＬＤ）ｏｎ　ＩｎＰ　ｓｕｂｓｒａｔｅ　ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ，ａｎｄ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ　ｄｉｆｆｕｓｅｄ　ｉｎｔｏ　ＺｎＯ　ｌａｔｔｉｃｅ　ｂｙａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｒｅａｔｍｅｎｔ　ａｔ　ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ（５００，７００℃）．Ｔｈｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｗｅｒｅ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ　ｂｙ　ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ（ＰＬ）ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ｗｈｉｃｈ　ｉｎｄｉｃａｔｅｄ　ｔｈａｔ　ｔｈｅ　ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｉｓ　ｔｈｅ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ｆａｃｔｏｒ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇ　ｔｈｅ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｄｏｐｉｎｇ．Ｔｈｅ　ｌｏｗ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ＰＬ　ｓｐｅｃｔｒａ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅ　ｗｈｉｃｈ　ａｎｎｅａｌｅｄ　ａｔ　７００℃ｆｏｒ　１ｈｅｘｈｉｂｉｔｅｄ　ａｃｃｅｐｔｏｒ　ｒｅｌａｔｅｄ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｐｅａｋｓ　ｌｏｃａｔｅｄ　ａｔ　３．３５１，３．３１１，３．２４６ａｎｄ　３．１７７ｅＶ，ｗｈｉｃｈ　ｗｅｒｅ　ａｔｔｒｉｂｕｔｅｄ　ｔｏ　Ａ°Ｘ，ＦＡ，ＤＡＰ　ａｎｄ　ＤＡＰ－１ＬＯ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅ　ａｃｃｅｐｔｏｒ　ｂｉｎｄｉｎｇ　ｅｎｅｒｇｙ　ｉｓ　ｅｓｔｉｍａｔｅｄ　ｔｏ　ｂｅ　ａｂｏｕｔ　１２２ｍｅＶ，ｗｈｉｃｈ　ｉｓ　ａｇｒｅｅｄ　ｗｉｔｈ　ｔｈｅ　ｔｈｅｏｒｅｔｉｃ　ｖａｌｕｅｓ　ｉｎ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ－ｄｏｐｅｄＺｎＯ　ｆｉｌｍｓ．Ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ，ｔｈｒｏｕｇｈ　ｔｈｅｒｍａｌ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄ　ｔｏ　ｒｅａｌｉｚｅ　ｔｈｅ　ｐ－ｔｙｐｅ　ｄｏｐｅｄ　ＺｎＯ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ，ｉｔ　ｓｏｌｖｅｄ　ｔｈｅ　ｍａｉｎ　ｐｒｏｂｌｅｍｓ　ｗｈｉｃｈ　ｌｉｍｉｔｅｄ　ｔｈｅ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｏｆ　ＺｎＯ　ｂａｓｅｄ　ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　ｄｅｖｉｃｅｓ，ａｎｄ　ｈａｓ　ａｎ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｃｅ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆ　ｔｈｅ　ＺｎＯ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ａｎｄ　ＺｎＯ　ｂａｓｅｄ　ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｄｅｖｉｃｅ
收录类别	sci
语种	英语
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/55934
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	F. Chen,D. Fang,S. P. Wang,et al. Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis,2015,35(7).
APA	F. Chen.,D. Fang.,S. P. Wang.,X. Fang.,J. L. Tang.,...&X. H. Ma and Z. P. Wei.(2015).Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion.Spectroscopy and Spectral Analysis,35(7).
MLA	F. Chen,et al."Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion".Spectroscopy and Spectral Analysis 35.7(2015).

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Optical Properties I（288KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载