Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 紫外-真空紫外光谱反射率测试系统 | |
汪龙祺; 匡海鹏; 曹小涛
| |
| 2015-09-15 | |
| 发表期刊 | 国外电子测量技术
 |
| 期号 | 09页码:17-21 |
| 摘要 | 为获取紫外-真空紫外光学元件的光谱反射率,构建了一套反射率测试系统。该反射率测试系统主要由Seya-Namioka紫外-真空紫外单色仪、样品精密转台为主体的光机结构和电子学系统组成。首先,介绍了系统测量原理,采用双光路补偿法消除了光源随时间的飘移,通过改变系统光路进行两次测量来获取反射光与入射光数据,进而得到光谱反射率。接着对电子学硬件系统进行描述,给出了驱动控制单元与信号处理采集单元的硬件设计与组成。因紫外-真空紫外光谱信号微弱,采用了锁相放大的方法提高了测量精度。该反射率测试系统测试结果表明波长重复性0.05nm,反射率测量重复精度为1.8%,系统功能完备稳定性好,能够实现对光学元件的高精度测量。 |
| 关键词 | 光谱反射率 光谱分辨率 紫外-真空紫外 锁相放大 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54311 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪龙祺,匡海鹏,曹小涛. 紫外-真空紫外光谱反射率测试系统[J]. 国外电子测量技术,2015(09):17-21. |
| APA | 汪龙祺,匡海鹏,&曹小涛.(2015).紫外-真空紫外光谱反射率测试系统.国外电子测量技术(09),17-21. |
| MLA | 汪龙祺,et al."紫外-真空紫外光谱反射率测试系统".国外电子测量技术 .09(2015):17-21. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 紫外-真空紫外光谱反射率测试系统.caj（2446KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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