Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法 | |
张敏; 隋永新 ; 杨怀江
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| 2015-04-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 期号 | 04页码:934-940 |
| 摘要 | 针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响。实验表明:拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度,与理论分析一致;相对于一般算法,该算法对机械误差有较强的免疫力。在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150mm的平面镜,结果显示:拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ,均方根值(RMS)为0.001 570λ,得到的结果十分接近,验证了该算法稳定可靠,能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差。 |
| 关键词 | 拼接干涉检测 子孔径拼接 机械定位误差 补偿算法 大口径平面镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54257 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张敏,隋永新,杨怀江. 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法[J]. 光学精密工程,2015(04):934-940. |
| APA | 张敏,隋永新,&杨怀江.(2015).用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法.光学精密工程(04),934-940. |
| MLA | 张敏,et al."用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法".光学精密工程 .04(2015):934-940. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法（433KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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