Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 应用五轴离子束修正超高陡度镜面 | |
马占龙 ; 谷勇强; 彭利荣; 王高文
| |
| 2015-06-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 06页码:241-248 |
| 摘要 | 为了验证离子束修正超高陡度镜面的能力,对采用五轴离子束加工超高陡度镜面的问题进行了分析研究和加工实验。根据现有检测条件制定了实验方案并对面形数据进行了处理;对超过机床五轴加工摆轴行程区域的驻留时间进行了补偿;建立了离子束五轴加工后置处理算法,根据该算法编制了数控程序生成软件,并通过实验验证了生成的数控程序的正确性;最后进行了超高陡度镜面的五轴离轴加工实验,经过5轮迭代加工后,元件面形由初始的峰谷(PV)值为57.983 nm、均方根(RMS)值为9.406 nm,收敛PV值为11.616 nm、RMS值为1.306 nm,总收敛比达到7.20。实验结果表明:采用五轴离子束加工超高陡度镜面的方案可行,并且获得了较高的收敛效率和加工精度,同时验证了离子束离轴镜加工的可行性。 |
| 关键词 | 光学制造 离子束 超高陡度 面形修正 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54238 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马占龙,谷勇强,彭利荣,等. 应用五轴离子束修正超高陡度镜面[J]. 光学学报,2015(06):241-248. |
| APA | 马占龙,谷勇强,彭利荣,&王高文.(2015).应用五轴离子束修正超高陡度镜面.光学学报(06),241-248. |
| MLA | 马占龙,et al."应用五轴离子束修正超高陡度镜面".光学学报 .06(2015):241-248. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 应用五轴离子束修正超高陡度镜面.caj（1583KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [马占龙]的文章 |
| [谷勇强]的文章 |
| [彭利荣]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [马占龙]的文章 |
| [谷勇强]的文章 |
| [彭利荣]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [马占龙]的文章 |
| [谷勇强]的文章 |
| [彭利荣]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论