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压电陶瓷迟滞建模及控制仿真
王晓东; 江国栋
2015-12-15
发表期刊压电与声光
期号06页码:926-929
摘要为了提高压电陶瓷驱动器在调节光学谐振腔长度时的精度,设计了一种压电陶瓷驱动系统。同时,为了改善压电陶瓷的迟滞特性,利用Duhem迟滞模型对其进行建模,利用梯度下降法对模型参数进行辨识,得到迟滞模型;并利用逆模型补偿及比例、积分、微分(PID)复合控制方法进行控制。实验结果表明,Duhem模型可以有效地拟合压电陶瓷驱动器的迟滞,在15μm的范围内,最大拟合误差小于0.2μm;同时,在复合控制下,驱动器的最大控制误差为12nm,表明该复合控制方法的有效性。
关键词压电陶瓷 驱动系统 Duhem模型 梯度下降法 比例、积分、微分(Pid)
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54180
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王晓东,江国栋. 压电陶瓷迟滞建模及控制仿真[J]. 压电与声光,2015(06):926-929.
APA 王晓东,&江国栋.(2015).压电陶瓷迟滞建模及控制仿真.压电与声光(06),926-929.
MLA 王晓东,et al."压电陶瓷迟滞建模及控制仿真".压电与声光 .06(2015):926-929.
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