Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析 | |
戚二辉; 罗霄 ; 李明; 郑立功; 张学军
| |
| 2015-02-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 02页码:639-646 |
| 摘要 | 五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点,可以实现大口径平面镜低阶像差的高精度检测,是指导大口径平面镜光学加工过程的一种有效途径。为使大口径平面镜检测系统中的五棱镜扫描技术更加完善,通过理论分析和计算模拟,对五棱镜检测系统中的主要误差源,包括五棱镜制造误差、温度梯度的影响、元件位置误差、光束定位误差、自准直仪测量误差等进行研究,形成了比较完善的误差分析的数理结果。计算结果表明,在当前实验室技术条件下,五棱镜扫描检测系统在单个测量点处的测量不确定度达到230 nrad,其中影响五棱镜检测系统测量精度的主要因素为自准直仪的测量精度与温度的影响。研究结果给出了工程实际中提高五棱镜扫描系统检测精度与减小测量误差的注意事项,并可用于指导系统设计时的误差分析及精度分配。 |
| 关键词 | 测量 光学检测 五棱镜扫描系统 光线矢量追迹 误差分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54146 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戚二辉,罗霄,李明,等. 五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析[J]. 红外与激光工程,2015(02):639-646. |
| APA | 戚二辉,罗霄,李明,郑立功,&张学军.(2015).五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析.红外与激光工程(02),639-646. |
| MLA | 戚二辉,et al."五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析".红外与激光工程 .02(2015):639-646. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析（475KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [李明]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [李明]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [李明]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论