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透镜中心厚度测量系统出射光光谱的研究
周勇; 郭帮辉; 李灿; 孙强
2015-08-10
发表期刊激光与光电子学进展
期号08页码:154-160
摘要透镜中心厚度测量设备是基于色差共焦原理,能快速自动测量透镜的中心厚度,且不接触透镜表面的一种新型设备。通过对该测量系统出射光光谱的研究,得到影响光谱带宽及系统测量精度的因素。研究结果表明,对于峰值波长λ0的光,其在系统中的像方数值孔径NA,以及小孔半径r均会对出射光的光谱有影响。NA越大,出射光带宽越小,系统测量精度越高;r越小,出射光带宽越小,系统测量精度越高。根据这一研究结果进行测量系统的设计与仿真,确定了能满足系统测量精度要求的NA和小孔半径r。
关键词测量 色差共焦 透镜中心厚度测量系统 出射光光谱 测量精度 系统设计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54116
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
周勇,郭帮辉,李灿,等. 透镜中心厚度测量系统出射光光谱的研究[J]. 激光与光电子学进展,2015(08):154-160.
APA 周勇,郭帮辉,李灿,&孙强.(2015).透镜中心厚度测量系统出射光光谱的研究.激光与光电子学进展(08),154-160.
MLA 周勇,et al."透镜中心厚度测量系统出射光光谱的研究".激光与光电子学进展 .08(2015):154-160.
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