CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
声光调Q CO_2激光器的实验研究
何洋; 陆君; 陈飞; 李殿军; 郑长彬; 谢冀江; 郭劲
2015-08-25
发表期刊红外与激光工程
期号08页码:2280-2285
摘要为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 k Hz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 k Hz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6μrad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。
关键词Co2激光器 声光调q 重复频率 稳定性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54066
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
何洋,陆君,陈飞,等. 声光调Q CO_2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程,2015(08):2280-2285.
APA 何洋.,陆君.,陈飞.,李殿军.,郑长彬.,...&郭劲.(2015).声光调Q CO_2激光器的实验研究.红外与激光工程(08),2280-2285.
MLA 何洋,et al."声光调Q CO_2激光器的实验研究".红外与激光工程 .08(2015):2280-2285.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
声光调Q CO_2激光器的实验研究.ca(688KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[何洋]的文章
[陆君]的文章
[陈飞]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[何洋]的文章
[陆君]的文章
[陈飞]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[何洋]的文章
[陆君]的文章
[陈飞]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 声光调Q CO_2激光器的实验研究.caj
格式: caj
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。