Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
声光调Q CO_2激光器的实验研究 | |
何洋; 陆君; 陈飞; 李殿军; 郑长彬; 谢冀江; 郭劲 | |
2015-08-25 | |
发表期刊 | 红外与激光工程 |
期号 | 08页码:2280-2285 |
摘要 | 为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 k Hz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 k Hz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6μrad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。 |
关键词 | Co2激光器 声光调q 重复频率 稳定性 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54066 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 何洋,陆君,陈飞,等. 声光调Q CO_2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程,2015(08):2280-2285. |
APA | 何洋.,陆君.,陈飞.,李殿军.,郑长彬.,...&郭劲.(2015).声光调Q CO_2激光器的实验研究.红外与激光工程(08),2280-2285. |
MLA | 何洋,et al."声光调Q CO_2激光器的实验研究".红外与激光工程 .08(2015):2280-2285. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
声光调Q CO_2激光器的实验研究.ca(688KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 |
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