Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用 | |
杨飞; 刘国军; 安其昌 | |
2015-10-25 | |
发表期刊 | 红外与激光工程
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期号 | 10页码:2965-2969 |
摘要 | 为了更好地进行大口径光学元件轮廓测量,以激光跟踪仪作为测量的工具,引入测量平差理论对测量数据进行处理,以提高光学元件毛坯制作、铣磨加工阶段的轮廓测量精度。首先,对拟合误差的公式进行了推导,得出影响拟合精度的因素;之后,对于大口径元件轮廓测量的具体检测模型提出了提高拟合精度的方法;最后,对于实际的2 m量级口径的Si C主镜进行了实际的测量与拟合,并从F数、拟合残差、结构函数等角度分析了平差结果。所提出的方法对于大口径元件的加工检测具有较好的指导意义。 |
关键词 | 轮廓测量 大口径光学元件 激光跟踪仪 测量平差理论 结构函数 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54037 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨飞,刘国军,安其昌. 平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用[J]. 红外与激光工程,2015(10):2965-2969. |
APA | 杨飞,刘国军,&安其昌.(2015).平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用.红外与激光工程(10),2965-2969. |
MLA | 杨飞,et al."平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用".红外与激光工程 .10(2015):2965-2969. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用(696KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 |
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