Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 绝对式光栅尺细分误差补偿方法 | |
乔栋; 续志军 ; 吴宏圣; 曾琪峰; 刘阳; 孙强
| |
| 2015-01-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 01页码:220-225 |
| 摘要 | 为了提高绝对式光栅尺的细分精度,提出了一种细分误差补偿方法。对绝对式光栅尺A、B两路叠栅条纹信号进行傅里叶分析,建立叠栅条纹信号模型;对信号模型中的相位、振幅、谐波、直流分量进行校正,得到理想叠栅条纹信号的模型;对比实际信号模型和理想信号模型的细分位置,得到绝对式光栅尺的细分误差;根据该误差对细分值进行补偿,提高细分精度。通过使用JC09型绝对式光栅尺对该方法进行验证,可使其细分相对误差从2.70%降低到1.05%。实验结果表明,该方法能够有效地提高绝对式光栅尺细分精度,且该方法具有原理简单、易于实现的优点。 |
| 关键词 | 测量 细分误差 傅里叶分析 绝对式光栅尺 叠栅条纹 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53933 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔栋,续志军,吴宏圣,等. 绝对式光栅尺细分误差补偿方法[J]. 光学学报,2015(01):220-225. |
| APA | 乔栋,续志军,吴宏圣,曾琪峰,刘阳,&孙强.(2015).绝对式光栅尺细分误差补偿方法.光学学报(01),220-225. |
| MLA | 乔栋,et al."绝对式光栅尺细分误差补偿方法".光学学报 .01(2015):220-225. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 绝对式光栅尺细分误差补偿方法.caj（1240KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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