Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器 | |
李秀山; 宁永强 ; 崔锦江; 张星; 贾鹏; 秦莉; 张金龙; 刘云; 王立军
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| 2015-05-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
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| 期号 | 05页码:572-576 |
| 摘要 | 垂直外腔面发射激光器(VECSEL)可以实现大功率的高光束质量输出。针对外腔制作工艺复杂、腔体结构松散的缺点,研制了一种介质膜集成衬底表面外腔底面发射激光器。将衬底表面生长的多层介质绝缘薄膜与N-DBR、P-DBR共同构成复合腔结构,衬底充当外腔。该结构能够抑制高阶模式,进而优化输出光谱及远场发散角等光束特性。在已有的理论指导下,制作了有源区直径为200μm、外腔腔长250μm的VECSEL。室温下,向器件连续直流注入3.4 A,测试得到输出功率为260 m W,远场发散角的半角宽度为3.8°,光谱半高全宽为0.046 nm。与常规结构底面发射VCSEL进行比较,发现VECSEL器件的光束质量得到了明显改善,实验结果与理论仿真结果有较好的一致性。 |
| 关键词 | 垂直外腔面发射激光器 复合腔 光谱 远场发散角 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53910 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李秀山,宁永强,崔锦江,等. 介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器[J]. 发光学报,2015(05):572-576. |
| APA | 李秀山.,宁永强.,崔锦江.,张星.,贾鹏.,...&王立军.(2015).介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器.发光学报(05),572-576. |
| MLA | 李秀山,et al."介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器".发光学报 .05(2015):572-576. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器.ca（545KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |
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