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计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究
李明; 闫力松; 薛栋林; 赵晶丽; 郑立功; 张学军
2015-11-10
发表期刊光学学报
期号11页码:268-275
摘要大口径凸非球面镜在现代光学系统的应用日渐广泛,尤其在离轴三反光学系统中,它往往作为次镜使用。出于力学特性和热学特性考虑,一般采用不透明的Si C材料来制作此类非球面镜面,而且对于离轴系统,次镜的全口径均参与成像。口径大、加工材料不透明且无中心遮拦,使得传统的检测方法已经无法实现对此类非球面的检测。为解决此问题,提出一种计算机再现全息(CGH)与辅助球面镜混合补偿的凸非球面检测方法,构建了基于CGH辅助功能区域的检测对准方案,并以此方法对一口径为φ120 mm的Si C凸非球面反射镜进行了混合补偿检测,其检测结果与子孔径拼接检测结果在均方根(RMS)值为1/50λ精度下一致,验证了该方法的可行性与正确性。
关键词光学制造 混合补偿检测 凸非球面 计算机再现全息 辅助球面镜 零位补偿检测
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53897
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
李明,闫力松,薛栋林,等. 计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究[J]. 光学学报,2015(11):268-275.
APA 李明,闫力松,薛栋林,赵晶丽,郑立功,&张学军.(2015).计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究.光学学报(11),268-275.
MLA 李明,et al."计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究".光学学报 .11(2015):268-275.
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