Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 | |
王君; 王丽萍 ; 金春水; 苗亮; 谢耀
| |
| 2015-12-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 12页码:135-143 |
| 摘要 | 高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件。通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造。并在此基础上采用一种渐近式NA方法获得了弦长为26 mm,宽2 mm的弧形视场内复合波像差优于均方根(RMS)为λ/50的物镜系统。借助Q型多项式,使物镜光学元件非球面度低于45μm,最大口径小于400 mm,全视场波像差优于0.027λRMS,畸变优于1.5 nm。 |
| 关键词 | 光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53893 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王君,王丽萍,金春水,等. 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化[J]. 光学学报,2015(12):135-143. |
| APA | 王君,王丽萍,金春水,苗亮,&谢耀.(2015).极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化.光学学报(12),135-143. |
| MLA | 王君,et al."极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化".光学学报 .12(2015):135-143. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化.c（1576KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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