Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计 | |
徐新行 ; 王恒坤; 韩旭东; 王兵; 高云国
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| 2015-09-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
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| 期号 | 09页码:1937-1944 |
| 摘要 | 为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。 |
| 关键词 | 快速反射镜 位移传感器 测量光栅 增量式 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53689 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐新行,王恒坤,韩旭东,等. 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计[J]. 仪器仪表学报,2015(09):1937-1944. |
| APA | 徐新行,王恒坤,韩旭东,王兵,&高云国.(2015).机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计.仪器仪表学报(09),1937-1944. |
| MLA | 徐新行,et al."机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计".仪器仪表学报 .09(2015):1937-1944. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设（1002KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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