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光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响
曾雪锋; 张学军
2015-07-10
发表期刊激光与光电子学进展
期号07页码:232-237
摘要为了研究光学表面制造残差对成像系统性能的影响,提出了基于光学系统出瞳位相差的空间频段误差划分方法,推导出了统计意义下的中频(MSF)误差对调制传递函数(MTF)的影响函数解析式,确定了MTF受中频误差影响的特征分辨率.对比低频(LSF)误差与MSF误差影响的区别,MSF误差导致系统调制传递函数从低分辨率处开始迅速下降,并根据中频影响函数解析式得到MSF误差导致MTF曲率突变特征分辨率.
关键词光学制造 中频误差 成像模型 调制传递函数 特征频率
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53643
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
曾雪锋,张学军. 光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响[J]. 激光与光电子学进展,2015(07):232-237.
APA 曾雪锋,&张学军.(2015).光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响.激光与光电子学进展(07),232-237.
MLA 曾雪锋,et al."光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响".激光与光电子学进展 .07(2015):232-237.
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