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高精度相位型计算全息图的设计
朱德燕; 张学军
2015-07-10
发表期刊光学学报
期号07页码:182-188
摘要为了解决非球面及自由曲面的高精度检测问题,基于二元光学计算机全息图(CGH)模型基础,分析了该模型下相位型CGH各项误差对CGH检测精度的影响,同时结合工程实例,针对口径为846 mm×630 mm的自由曲面,设计了相应的相位型CGH,并实验验证了该设计的可行性。结果显示:在设计时应先将相位型CGH的各个衍射级次进行分离;改变CGH到干涉仪焦点距离以减小刻画畸变同时保证CGH尺寸;再将基板误差检测出来,并代入设计结果进行补偿标定;最后在编码时将占空比选择为0.5,刻蚀深度选择在0.3λ减小占空比误差、相位函数误差和振幅误差。
关键词全息 计算全息图 高精度 自由曲面 误差分析 光学检测
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53597
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
朱德燕,张学军. 高精度相位型计算全息图的设计[J]. 光学学报,2015(07):182-188.
APA 朱德燕,&张学军.(2015).高精度相位型计算全息图的设计.光学学报(07),182-188.
MLA 朱德燕,et al."高精度相位型计算全息图的设计".光学学报 .07(2015):182-188.
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