Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究 | |
张德福 ; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗; 李朋志
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| 2015-05-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | 05页码:982-988 |
| 摘要 | 针对光学系统中光学元件的高精度位移调节和检测问题,提出一种非接触电容位移传感器的线性度标定方法,搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的标定平台,从测量原理上消除阿贝误差。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现微位移调节,基于柔度矩阵法分析了调节机构的输出柔度和行程。试验结果表明,机构的柔度为13.585μm/N,运动行程为543.4μm,分辨率约为10 nm。经过标定补偿计算,传感器的线性度由0.047 14%提高至0.004 84%。该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足精密位移调节机构使用要求。 |
| 关键词 | 传感器 标定 线性度 柔度矩阵 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53596 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德福,葛川,李显凌,等. 高精度位移传感器线性度标定方法研究[J]. 仪器仪表学报,2015(05):982-988. |
| APA | 张德福,葛川,李显凌,倪明阳,郭抗,&李朋志.(2015).高精度位移传感器线性度标定方法研究.仪器仪表学报(05),982-988. |
| MLA | 张德福,et al."高精度位移传感器线性度标定方法研究".仪器仪表学报 .05(2015):982-988. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究.ca（686KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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