非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究

	非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究
	陈新东; 李锐刚
	2015-05-10
发表期刊	中国激光
期号	05 页码:242-248
摘要	随着非球面反射镜口径和顶点曲率半径的增大,传统的非球面几何参数测量不能满足要求。为实现非球面几何参数的高精度测量,针对广泛应用的补偿器检测非球面光路,开展了几何参数分析和测量方法研究。将二次常数和顶点曲率半径的理论近似误差关系与Zemax仿真进行对比验证,确定了测量需求及数据复核方法;阐述了采用激光跟踪仪测量几何参数的基本原理,说明了特征转换过程及建模、数据处理方法。测量实验结果表明,对2 m量级的测量光路,顶点曲率半径的重复性测量精度±0.039 mm,二次常数的重复性精度±2.05×10-5,离轴量的重复性精度±0.055 mm。说明采用该方法能够有效实现非球面参数的测量,并具有很高的重复性测量精度,适合大口径、长曲率半径非球面的几何参数测量。该方法绝对检测精度需要进一步分析。
关键词	光学制造非球面检测几何参数测量激光跟踪仪
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53561
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈新东,李锐刚. 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究[J]. 中国激光,2015(05):242-248.
APA	陈新东,&李锐刚.(2015).非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究.中国激光(05),242-248.
MLA	陈新东,et al."非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究".中国激光 .05(2015):242-248.

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非球面Null Lens补偿检测中采用激（1254KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载