Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 非零位补偿检验非球面技术（英文） | |
王孝坤
| |
| 2015-09-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 09页码:2702-2709 |
| 摘要 | 为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法。对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划。结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183λ和0.018λ。 |
| 关键词 | 光学检测 非球面 部分补偿 子孔径拼接干涉计测 数字样板法 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53559 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤. 非零位补偿检验非球面技术（英文）[J]. 红外与激光工程,2015(09):2702-2709. |
| APA | 王孝坤.(2015).非零位补偿检验非球面技术（英文）.红外与激光工程(09),2702-2709. |
| MLA | 王孝坤."非零位补偿检验非球面技术（英文）".红外与激光工程 .09(2015):2702-2709. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 非零位补偿检验非球面技术（英文）.caj（615KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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