Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 | |
| 何煦; 成贤锴 | |
| 2015-09-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | 09页码:2057-2067 |
| 摘要 | 光栅衍射效率反映光栅的设计与刻划质量,对于使用者和制造者均至关重要。针对国内首台500 mm×400 mm中阶梯衍射光栅刻划机的研制,有必要构建相应的衍射效率测试系统,以定量评价光栅的制作水平,为光栅设计与制造工艺的改进提供必要的测试手段。基于串联色散相减原理,改进了常规C-T结构的测量单色仪光路,并对前置单色仪、测量单色仪光路进行联合优化,设计了待测光栅多维调整台、探测器组件等。提出了N.A.为0.1的三光栅扫描前置单色仪的标定方法,以及测试仪器的系统误差修正方法。前置单色仪标定结果表明,其在190~1 100 nm光谱范围内的波长输出精度为±2 nm,程控狭缝开启精度为0.002 mm。修正后的衍射效率测量精度为2%,重复精度为0.5%。初步的测量结果显示,测试设备可以满足500 mm×400 mm中阶梯光栅衍射效率定量检测需求,在工作谱段内实现衍射效率-波长连续曲线的自动测量。 |
| 关键词 | 中阶梯光栅 衍射效率 测试仪器 设计与标校 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53487 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何煦,成贤锴. 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成[J]. 仪器仪表学报,2015(09):2057-2067. |
| APA | 何煦,&成贤锴.(2015).大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成.仪器仪表学报(09),2057-2067. |
| MLA | 何煦,et al."大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成".仪器仪表学报 .09(2015):2057-2067. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成（1827KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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