Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究 | |
徐新行 ; 陈宁; 时魁; 庄昕宇
| |
| 2015-09-20 | |
| 发表期刊 | 激光与红外
 |
| 期号 | 09页码:1093-1099 |
| 摘要 | 为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用Si C为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主要设计指标。然后,针对反射镜的轻量化结构采用反应烧结法获得镜坯,并通过机械加工使其接近成型;继而采用物理气相沉积法对Si C反射镜进行表面改性处理,进而采用古典抛光法对反射镜进行光学精加工;最后在反射镜的工作表面镀覆金反射膜。在完成车载大口径FSM用Si C反射镜的加工制备后,对反射镜的面形精度和反射率进行了实验检测。结果显示:Si C反射镜的面形精度(RMS值)优于λ/30;对中波激光的反射率约为98.0%,对长波激光的反射率约为98.2%;均满足车载大口径FSM的应用需求。 |
| 关键词 | Sic反射镜 制备工艺 面形精度 反射率 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53445 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐新行,陈宁,时魁,等. 车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究[J]. 激光与红外,2015(09):1093-1099. |
| APA | 徐新行,陈宁,时魁,&庄昕宇.(2015).车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究.激光与红外(09),1093-1099. |
| MLA | 徐新行,et al."车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究".激光与红外 .09(2015):1093-1099. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研（303KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [徐新行]的文章 |
| [陈宁]的文章 |
| [时魁]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [徐新行]的文章 |
| [陈宁]的文章 |
| [时魁]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [徐新行]的文章 |
| [陈宁]的文章 |
| [时魁]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论