Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜 | |
吴绍航; 张楠; 郭晓阳; 蒋大鹏; 刘星元
| |
| 2015-07-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 07页码:829-833 |
| 摘要 | 利用离子源辅助的电子束热蒸发技术研制了高性能的Sr-F共掺杂SnO2(SFTO)基透明导电薄膜。所制备的SFTO薄膜具有良好的导电性和透过率,电阻率低于3.9×10-3Ω·cm,380~2500nm波段的平均透过率大于85%,功函数约为5.10eV。SFTO透明导电薄膜为非晶态薄膜,具有较好的表面平整度(Rq<1.5nm)。与工业上F掺杂SnO2薄膜的衬底温度(>450℃)相比,本文所用的衬底温度仅为300℃,有望直接将SnO2基透明导电非晶薄膜制备到柔性的塑料(PI、PAR或PCO)衬底上以获得性能良好的柔性电极。 |
| 关键词 | 透明导电薄膜 无铟 Sno2 半导体掺杂 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53393 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴绍航,张楠,郭晓阳,等. Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜[J]. 发光学报,2015(07):829-833. |
| APA | 吴绍航,张楠,郭晓阳,蒋大鹏,&刘星元.(2015).Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜.发光学报(07),829-833. |
| MLA | 吴绍航,et al."Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜".发光学报 .07(2015):829-833. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜（926KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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