Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响 | |
李秀山; 宁永强 ; 张星; 贾鹏; 陈泳屹; 秦莉; 刘云; 王立军
| |
| 2015-07-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 07页码:806-810 |
| 摘要 | 为解决850 nm波长VCSEL表面的Ga As/空气材料的高对比亚波长光栅(HCGs)稳定性差的问题,设计了基于Si/Si O2材料的高对比亚波长光栅。研究了850 nm波长高稳定、高反射率(>99.5%)的高对比亚波长矩形光栅参数的变化对反射率的影响。利用有限元分析软件计算了Si/Si O2高对比亚波长光栅的高度、填充因子、周期、刻蚀深度及光栅倾角等各个参数的变化对850 nm的反射率影响。计算结果表明:当波长为850 nm的TE光从Si O2正入射到矩形HCGs且只有在光栅的倾角大于88°的小范围内变化时,HCGs的反射率才大于0.995,而光栅的其他参数对HCGs反射率的影响可以忽略不计。 |
| 关键词 | 光栅 高对比亚波长光栅 高反射率 有限元分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53387 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李秀山,宁永强,张星,等. Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响[J]. 发光学报,2015(07):806-810. |
| APA | 李秀山.,宁永强.,张星.,贾鹏.,陈泳屹.,...&王立军.(2015).Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响.发光学报(07),806-810. |
| MLA | 李秀山,et al."Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响".发光学报 .07(2015):806-810. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| Si_SiO_2高对比光栅参数对反射率的（698KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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