Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作 | |
赵龙波; 张志宇 ; 朱德燕; 王延超; 郑立功; 张学军
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| 2014-11-10 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 期号 | 11页码:128-134 |
| 摘要 | 为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。 |
| 关键词 | 全息 衍射光学元件制作 线宽 非球面检验 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43467 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵龙波,张志宇,朱德燕,等. 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作[J]. 激光与光电子学进展,2014(11):128-134. |
| APA | 赵龙波,张志宇,朱德燕,王延超,郑立功,&张学军.(2014).用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作.激光与光电子学进展(11),128-134. |
| MLA | 赵龙波,et al."用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作".激光与光电子学进展 .11(2014):128-134. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图（1206KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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