Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用 | |
张敏; 隋永新 ; 杨怀江
| |
| 2014-10-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 5页码:830-836 |
| 摘要 | 子孔径拼接干涉仪中子孔径定位精度难以在大行程范围内得到保证,为此本文提出了基于提取标记点中心定位子孔径的拼接方法。以标记点的中心坐标为标记点坐标,根据标记点在两子孔径局部坐标系下的坐标计算两子孔径之间的坐标变换,将所有子孔径数据坐标变换到统一坐标系下,利用机械误差补偿算法拼接出全口径面形。在搭建的拼接检测系统上实现了外径468 mm的平面镜抛光过程和最终的全口径面形测量,加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据,保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到35 nm。实验证明,基于提取标记点中心的子孔径拼接检测能放宽对机械定位精度的要求,有效检测大口径光学元件面形。 |
| 关键词 | 光学检测 干涉仪 子孔径拼接算法 标记点中心 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43442 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张敏,隋永新,杨怀江. 提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用[J]. 中国光学,2014(5):830-836. |
| APA | 张敏,隋永新,&杨怀江.(2014).提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用.中国光学(5),830-836. |
| MLA | 张敏,et al."提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用".中国光学 .5(2014):830-836. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用.（563KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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