高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工

	高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工
	范镝
	2014-08-10
发表期刊	激光与光电子学进展
期号	8 页码:154-157
摘要	为了制造具有良好力学和热学性能的反射镜,对高体分铝基碳化硅镀镍钴合金反射镜的光学加工进行了研究;介绍了高体分铝基碳化硅SiCp/Al的物理性能;采用不同抛光磨料和抛光模对SiCp/Al镀镍钴合金样片进行抛光实验;在实验基础上,对SiCp/Al表面镀镍钴合金同轴抛物面反射镜表面进行精密抛光,实现了300 mm口径SiCp/Al表面镀镍钴合金同轴抛物面反射镜的光学加工,其面形精度均方根值为0.027λ(λ=632.8 nm),表面粗糙度Ra值优于2.1 nm。
关键词	光学加工高体分铝基碳化硅镍钴合金抛物镜
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43353
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	范镝. 高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工[J]. 激光与光电子学进展,2014(8):154-157.
APA	范镝.(2014).高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工.激光与光电子学进展(8),154-157.
MLA	范镝."高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工".激光与光电子学进展 .8(2014):154-157.