负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定

	负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定
	崔洋; 彭吉; 于淼; 李佩玥
	2014-08-15
发表期刊	电子测量技术
期号	8 页码:104-106+111
摘要	光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求。本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析,分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量、标准温度传感器引入的不确定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量,分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为2.178m℃,扩展不确定度为为4.356m℃,满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求。
关键词	负温度系数热敏电阻不确定度不确定度来源温度传感器
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43343
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	崔洋,彭吉,于淼,等. 负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定[J]. 电子测量技术,2014(8):104-106+111.
APA	崔洋,彭吉,于淼,&李佩玥.(2014).负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定.电子测量技术(8),104-106+111.
MLA	崔洋,et al."负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定".电子测量技术 .8(2014):104-106+111.

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