Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种精密气控系统的设计与实现 | |
于淼 ; 崔洋; 李佩玥
| |
| 2014-07-15 | |
| 发表期刊 | 国外电子测量技术
 |
| 期号 | 7页码:21-24 |
| 摘要 | 介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求。首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制回路动态仿真模型,调节回路内关键节点的气体压力和流量特性参数进行时域分析,以验证模型的正确性。其次,通过CompactPCI总线机箱执行实时采集和闭环控制,并利用QWT库实现人机交互图形界面。实验结果表明,该系统具有便携性、可配置性、实时性、高精度等特点,适用于低流量、高稳态氮气供给应用场景。 |
| 关键词 | 气路仿真 压力控制 流量控制 Qwt |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43342 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于淼,崔洋,李佩玥. 一种精密气控系统的设计与实现[J]. 国外电子测量技术,2014(7):21-24. |
| APA | 于淼,崔洋,&李佩玥.(2014).一种精密气控系统的设计与实现.国外电子测量技术(7),21-24. |
| MLA | 于淼,et al."一种精密气控系统的设计与实现".国外电子测量技术 .7(2014):21-24. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种精密气控系统的设计与实现.caj（154KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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