Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度标准镜支撑结构的研究与设计 | |
| 丁玲; 王涛; 杨洪波; 贾宏光 | |
| 2014-04-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 4页码:1172-1175 |
| 摘要 | 为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求,设计了口径准150mm的标准镜的支撑方式,采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36 nm,RMS值为1.52 nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。 |
| 关键词 | 标准镜 参考面 支撑结构 自重变形 有限元法 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43293 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁玲,王涛,杨洪波,等. 高精度标准镜支撑结构的研究与设计[J]. 红外与激光工程,2014(4):1172-1175. |
| APA | 丁玲,王涛,杨洪波,&贾宏光.(2014).高精度标准镜支撑结构的研究与设计.红外与激光工程(4),1172-1175. |
| MLA | 丁玲,et al."高精度标准镜支撑结构的研究与设计".红外与激光工程 .4(2014):1172-1175. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高精度标准镜支撑结构的研究与设计.caj（780KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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