Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测 | |
李俊峰
| |
| 2014-04-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 2页码:287-292 |
| 摘要 | 为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔,并对其控制精度进行了分析;最后,针对Φ158mm的凸非球面,给出了双摆轴加工的检验结果,并对检测精度进行了分析。实验结果表明:应用双摆轴加工工艺在使低频误差快速收敛的同时,可以有效抑制中频误差,其低频误差的控制精度可以稳定地达到λ/30(λ=633 nm);应用测杆装调Hindle检测光路的控制极限误差为±0.065 mm,两个光学间隔参数的公差分别为±0.22 mm和±0.30 mm。应用双摆轴加工技术实现了凸非球面的快速加工与全频段质量控制,采用Hindle检测凸非球面得到面形精度为0.022λ(RMS,@633 nm),满足光学设计技术指标要求。 |
| 关键词 | 双摆轴 非球面 Hindle检测 测杆 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43260 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学,2014(2):287-292. |
| APA | 李俊峰.(2014).碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测.中国光学(2),287-292. |
| MLA | 李俊峰."碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测".中国光学 .2(2014):287-292. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测.caj（334KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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