Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 | |
彭海峰 ; 孙振
| |
| 2014 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 4页码:113-117 |
| 摘要 | 柔性铰链与高准确度驱动器的结合是实现光学元件轴向精密调节的重要方法.本文介绍了一种采用柔性铰链的轴向精密调节机构,推导并得出了其实现精密调节的原理.通过对应用柔性调节机构的一种典型光机系统的刚度分析,得到在不超过柔性铰链材料屈服应力情况下,光学元件的最大轴向位移可以达到200μm以上;同时,对一种典型参量的柔性结构做了模态分析,得到其一阶固有频率为185.1Hz,证明了调节机构的固有频率满足工作要求.分析了驱动力在此种轴向调整机构中对镜片面形的影响,结果表明:调整机构在接近最大允许驱动力作用下对镜片面形影响为4.41nm,说明其对光学元件的面形影响较小.该研究结果为柔性光学元件轴向调节机构的应用提供了有力依据. |
| 关键词 | 光刻物镜 光学元件 精密轴向调节 面形分析 柔顺铰链 固有频率特性 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43233 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭海峰,孙振. 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析[J]. 光子学报,2014(4):113-117. |
| APA | 彭海峰,&孙振.(2014).光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析.光子学报(4),113-117. |
| MLA | 彭海峰,et al."光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析".光子学报 .4(2014):113-117. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计（500KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [彭海峰]的文章 |
| [孙振]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [彭海峰]的文章 |
| [孙振]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [彭海峰]的文章 |
| [孙振]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论