Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种非对称式压电驱动微夹持器 | |
高群 ; 周鹏骥; 王晓东
| |
| 2014-11-15 | |
| 发表期刊 | 纳米技术与精密工程
 |
| 期号 | 6页码:435-440 |
| 摘要 | 针对微管类(直径0~300μm)零件的夹持需求,基于有限元分析设计了一种非对称式压电驱动的微夹持器.该微夹持器采用柔性铰链实现压电陶瓷输出位移的传递和放大.采用平行四杆机构实现夹钳末端的平行移动.通过检测柔性铰链处应变的方法,间接地测量夹持力和位移信息.微夹持器的实验特性显示位移的放大倍率为5.6倍,夹持器末端夹钳可以实现平行移动.力和位移标定实验中显示夹持力的分辨力在2.41 m N,位移的分辨力在0.22μm,且力/位移与应变具有很好的线性关系.采用增量式PID的控制算法对系统进行力/位移的闭环控制.以微型玻璃管(直径150μm)夹持为例,系统的阶跃响应实验显示,系统的力/位移控制可以实现无超调.实验结果表明增量式PID控制算法可以实现对本微夹持器力/位移的准确、稳定控制. |
| 关键词 | 非对称 压电陶瓷 柔性铰链 平行四杆 应变式反馈 增量式pid |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43117 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高群,周鹏骥,王晓东. 一种非对称式压电驱动微夹持器[J]. 纳米技术与精密工程,2014(6):435-440. |
| APA | 高群,周鹏骥,&王晓东.(2014).一种非对称式压电驱动微夹持器.纳米技术与精密工程(6),435-440. |
| MLA | 高群,et al."一种非对称式压电驱动微夹持器".纳米技术与精密工程 .6(2014):435-440. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种非对称式压电驱动微夹持器.caj（738KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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