Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究 | |
赵文兴; 张舸
| |
| 2014-11-15 | |
| 发表期刊 | 硅酸盐通报
 |
| 期号 | 11页码:2838-2842 |
| 摘要 | 本文分析了反应烧结过程中温度场分布对碳化硅(SiC)镜坯的影响,提出安全升降温速率与陶瓷坯体尺寸的平方成反比关系;测试了SiC素坯热膨胀系数、导热系数与温度的关系,在此基础上讨论了镜坯中的热应力与安全升降温参数的确定;同时通过对固态、液态硅(Si)以及Si固液态转变的特性分析,确定了最佳硅熔渗温度;最后分析了反应烧结SiC(RBSiC)中残余应力的产生机理,提出了解决办法。 |
| 关键词 | 反应烧结碳化硅 温度场 素坯 熔融硅 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43109 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵文兴,张舸. 特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究[J]. 硅酸盐通报,2014(11):2838-2842. |
| APA | 赵文兴,&张舸.(2014).特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究.硅酸盐通报(11),2838-2842. |
| MLA | 赵文兴,et al."特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究".硅酸盐通报 .11(2014):2838-2842. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究.ca（142KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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