Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于反馈的交流激励式电容测量电路设计 | |
冯佳; 李佩玥 ; 徐立松; 尹志生; 隋永新
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| 2014-11-15 | |
| 发表期刊 | 国外电子测量技术
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| 期号 | 11页码:38-42 |
| 摘要 | 针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题,提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先,将传感器输出电压引出,乘以合适的倍数,加到初始激励源。然后,利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后,用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明,该系统在0~650μm范围内分辨率达30nm,电路测量最大偏差为20nm,示值稳定性0.1mV/30min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 |
| 关键词 | 电容传感器 交流激励式 反馈电路 3458a |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43083 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯佳,李佩玥,徐立松,等. 基于反馈的交流激励式电容测量电路设计[J]. 国外电子测量技术,2014(11):38-42. |
| APA | 冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,&隋永新.(2014).基于反馈的交流激励式电容测量电路设计.国外电子测量技术(11),38-42. |
| MLA | 冯佳,et al."基于反馈的交流激励式电容测量电路设计".国外电子测量技术 .11(2014):38-42. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于反馈的交流激励式电容测量电路设计.c（1259KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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