Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 纳米级面形精度光学平面镜加工 | |
张峰
| |
| 2014-08-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 4页码:616-621 |
| 摘要 | 为实现纳米级面形精度光学平面镜的高效精密抛光,提出了一种由传统环带抛光技术和先进离子束抛光技术相结合的组合式加工方法。介绍了环带抛光技术和离子束抛光技术的原理,通过实验研究了离子束抛光的材料去除函数,并采用这种组合抛光方法对口径为150 mm的平面镜进行抛光,抛光后平面镜的面形误差和表面粗糙度分别达到1.217nm RMS和0.506 nm RMS。实验结果表明,这种组合抛光技术适合纳米级面形精度光学平面镜的加工。 |
| 关键词 | 光学加工 环带抛光 离子束抛光 材料去除函数 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43027 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张峰. 纳米级面形精度光学平面镜加工[J]. 中国光学,2014(4):616-621. |
| APA | 张峰.(2014).纳米级面形精度光学平面镜加工.中国光学(4),616-621. |
| MLA | 张峰."纳米级面形精度光学平面镜加工".中国光学 .4(2014):616-621. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 纳米级面形精度光学平面镜加工.caj（466KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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