Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 | |
芮大为 ; 史振广; 袁文全; 张巍
| |
| 2014-09-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 9页码:282-289 |
| 摘要 | 极平衡作为光刻物镜的一项重要指标,受到多种误差因素综合调制,因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量。提出了一种标定方法,将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦,对极平衡指标进行了标定,并与质心标定方法进行对比研究。实现途径是以Matlab程序作为载体,调用Code V进行远心度运算,对LightTools的光瞳强度仿真结果进行重新定位,从而获取远心分离后的极平衡性指标。此外,设计了一个光刻物镜方案作为研究对象,对标定程序进行了仿真验证。结果表明,该标定方法可有效分离远心误差对极平衡的调制作用,程序执行效率较高。 |
| 关键词 | 光学设计 光刻物镜 光瞳极平衡 远心度 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42964 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 芮大为,史振广,袁文全,等. 光刻物镜光瞳极平衡性标定方法[J]. 中国激光,2014(9):282-289. |
| APA | 芮大为,史振广,袁文全,&张巍.(2014).光刻物镜光瞳极平衡性标定方法.中国激光(9),282-289. |
| MLA | 芮大为,et al."光刻物镜光瞳极平衡性标定方法".中国激光 .9(2014):282-289. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻物镜光瞳极平衡性标定方法.caj（390KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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