| 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 |
| 赵阳; 王平 ; 赵磊; 刘春来; 华洋洋; 门树东
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| 2014-08-10
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| 发表期刊 | 光学学报
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| 期号 | 8页码:228-233 |
| 摘要 | 光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。 |
| 文章类型 | 期刊
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| 关键词 | 几何光学
复杂系统装调
补偿量选择
奇异值分解
失调量向量
补偿量相关性
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42880
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵阳,王平,赵磊,等. 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量[J]. 光学学报,2014(8):228-233.
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| APA |
赵阳,王平,赵磊,刘春来,华洋洋,&门树东.(2014).利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量.光学学报(8),228-233.
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| MLA |
赵阳,et al."利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量".光学学报 .8(2014):228-233.
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文件名：
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利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量.caj
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格式：
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caj
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