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用于光束整形的表面等离子体双光栅结构
陈泳屹; 秦莉; 佟存住; 王立军; 刘益春
2014-06-15
发表期刊光学精密工程
期号6页码:1461-1468
摘要为了对双边布拉格反射波导半导体激光器的远场双瓣特性进行整形,使之合并成为单瓣出光远场,在布拉格反射波导的出光腔面上制作了表面等离子体双光栅结构。利用Au-SiO2光栅结构对表面等离子体的耦合效应和表面等离子体的透射增强现象将双瓣远场耦合成为单瓣出射,然后通过Au-Si3N4光栅结构将透射的表面等离子体耦合成为光子进行准直出射,最终得到单瓣准直的远场光斑。计算结果表明:当Au-SiO2光栅厚度为50nm,填充因子为0.5,光栅周期为350nm;Au-Si3N4光栅厚度为70nm,填充因子为0.5,光栅周期为660nm时可以得到远场发散角压缩到6.1°的整形光斑,比没有双光栅结构的发散角缩小了3.6倍;其远场透射光功率达到了模式光源的62%,是没有双光栅结构单瓣出射功率的1.59倍;同时腔面反射率也降低到12.4%,是没有双光栅结构的0.53倍。结果显示,提出的双光栅结构优化了布拉格反射波导半导体激光器的出光远场特性。
文章类型期刊
关键词半导体激光器 布拉格反射波导 表面等离子体 光束整形 双光栅结构
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42827
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈泳屹,秦莉,佟存住,等. 用于光束整形的表面等离子体双光栅结构[J]. 光学精密工程,2014(6):1461-1468.
APA 陈泳屹,秦莉,佟存住,王立军,&刘益春.(2014).用于光束整形的表面等离子体双光栅结构.光学精密工程(6),1461-1468.
MLA 陈泳屹,et al."用于光束整形的表面等离子体双光栅结构".光学精密工程 .6(2014):1461-1468.
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