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非接触式扫描反射镜转角测量系统
王洋; 颜昌翔; 胡春晖; 汪逸群; 顾志远; 张达; 张新洁
2014-04-15
发表期刊光学精密工程
期号4页码:850-855
摘要为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统。介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围。为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据。讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差。最后进行了相关的测量实验。实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5″,测角范围为11°,测角精度可达3″,可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求。
文章类型期刊
关键词光谱成像仪 扫描镜 非接触测量 角度测量 多项式拟合 误差分析
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42798
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王洋,颜昌翔,胡春晖,等. 非接触式扫描反射镜转角测量系统[J]. 光学精密工程,2014(4):850-855.
APA 王洋.,颜昌翔.,胡春晖.,汪逸群.,顾志远.,...&张新洁.(2014).非接触式扫描反射镜转角测量系统.光学精密工程(4),850-855.
MLA 王洋,et al."非接触式扫描反射镜转角测量系统".光学精密工程 .4(2014):850-855.
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