Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 应用离子束修正大面形误差光学元件 | |
马占龙 ; 隋永新
| |
| 2014-01-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 1页码:202-206 |
| 摘要 | 为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力,对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究。通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数,并对一直径为101mm、初始面形峰谷(PV)值为417.554nm、均方根(RMS)值为104.743nm的熔石英平面镜进行了离子束修形实验。利用10、5、2mm光阑离子源的组合,进行了12次迭代修形,最终获得了PV值为10.843nm、RMS值为0.872nm的超高精度表面。实验结果表明,应用离子束可以对大面形误差光学元件进行修正,并且利用更大和更小束径离子束去除函数的组合进行优化,可以进一步提升加工效率和精度。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 光学制造 离子束 面形修正 去除函数 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42706 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马占龙,隋永新. 应用离子束修正大面形误差光学元件[J]. 光学学报,2014(1):202-206. |
| APA | 马占龙,&隋永新.(2014).应用离子束修正大面形误差光学元件.光学学报(1),202-206. |
| MLA | 马占龙,et al."应用离子束修正大面形误差光学元件".光学学报 .1(2014):202-206. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 应用离子束修正大面形误差光学元件.caj（389KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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