Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 低温外延生长平整ZnO薄膜 | |
赵鹏程; 张振中 ; 姚斌; 李炳辉; 王双鹏; 姜明明; 赵东旭; 单崇新; 赵海峰; 刘雷; 申德振
| |
| 2014 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 5页码:542-547 |
| 摘要 | 在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面。本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品。在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率。样品的生长速率为40～100 nm/h。通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒;降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整。原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度。这种平整表面的获得得℃于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | Zno 分子束外延 生长温度 平整表面 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42667 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵鹏程,张振中,姚斌,等. 低温外延生长平整ZnO薄膜[J]. 发光学报,2014(5):542-547. |
| APA | 赵鹏程.,张振中.,姚斌.,李炳辉.,王双鹏.,...&申德振.(2014).低温外延生长平整ZnO薄膜.发光学报(5),542-547. |
| MLA | 赵鹏程,et al."低温外延生长平整ZnO薄膜".发光学报 .5(2014):542-547. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 低温外延生长平整ZnO薄膜.kdh（1258KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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