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低温外延生长平整ZnO薄膜
赵鹏程; 张振中; 姚斌; 李炳辉; 王双鹏; 姜明明; 赵东旭; 单崇新; 赵海峰; 刘雷; 申德振
2014
发表期刊发光学报
期号5页码:542-547
摘要在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面。本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品。在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率。样品的生长速率为40~100 nm/h。通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒;降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整。原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度。这种平整表面的获得得℃于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配。
文章类型期刊
关键词Zno 分子束外延 生长温度 平整表面
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42667
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
赵鹏程,张振中,姚斌,等. 低温外延生长平整ZnO薄膜[J]. 发光学报,2014(5):542-547.
APA 赵鹏程.,张振中.,姚斌.,李炳辉.,王双鹏.,...&申德振.(2014).低温外延生长平整ZnO薄膜.发光学报(5),542-547.
MLA 赵鹏程,et al."低温外延生长平整ZnO薄膜".发光学报 .5(2014):542-547.
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