m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)

	m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)
	郑剑; 张振中; 张吉英; 刘益春; 王双鹏; 姜明明; 陈星; 李炳辉; 赵东旭; 刘雷; 王立昆; 单崇新; 申德振
	2014
发表期刊	发光学报
期号	6 页码:678-683
摘要	由于在日盲紫外探测方面的应用前景,具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注。获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升MgZnO基日盲紫外探测器性能至关重要。本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的MgxZn1-xO薄膜。光学和结构特性测试结果表明:Zn摩尔分数达到55%的Mg0.45Zn0.55O薄膜依然是单一立方相,其光学带隙可以达到4.7 eV。立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)MgZnO\|\|(1010)sapphire、[001]MgZnO\|\|[1210]sapphire和[110]MgZnO\|\|[0001]sapphire。唯一确定的面内取向有利于薄膜晶体质量的提高。基于(110)取向立方相Mg0.45Zn0.55O薄膜制备金属-半导体-金属(MSM)结构器件,获得了光响应峰在260 nm、光响应截止波长278 nm的日盲紫外探测器。
文章类型	期刊
关键词	立方mgzno (110)取向日盲紫外探测器 Mocvd
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42665
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郑剑,张振中,张吉英,等. m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)[J]. 发光学报,2014(6):678-683.
APA	郑剑.,张振中.,张吉英.,刘益春.,王双鹏.,...&申德振.(2014).m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文).发光学报(6),678-683.
MLA	郑剑,et al."m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)".发光学报 .6(2014):678-683.

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