基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜

	基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜
	佐婧; 郭晓阳; 刘星元
	2014
发表期刊	发光学报
期号	3 页码:360-365
摘要	利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5(VAV)透明导电薄膜,研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响。用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光电性能及功函数等性质进行了表征。实验结果表明,该薄膜具有良好的光学和电学性质,可见光(380～780 nm)平均透过率达75%,迁移率为16.89 cm2/(V.s),载流子浓度为-1.043×1022cm-3,方块电阻值为15.1Ω/□,功函数为5.17 eV。该制备方法降低了V2O5薄膜的工艺制备难度,为该材料在太阳能电池中的应用创造了良好的前期基础。
文章类型	期刊
关键词	溶胶-凝胶技术透明导电薄膜 V2o5/ag/v2o5叠层
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42662
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	佐婧,郭晓阳,刘星元. 基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜[J]. 发光学报,2014(3):360-365.
APA	佐婧,郭晓阳,&刘星元.(2014).基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜.发光学报(3),360-365.
MLA	佐婧,et al."基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜".发光学报 .3(2014):360-365.

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