Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进 | |
| 陈赟; 李艳茹; 张红胜 | |
| 2014-02-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 1页码:131-136 |
| 摘要 | 为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 金属网栅 多晶zns 光刻复制工艺 光刻胶 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42627 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟,李艳茹,张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学,2014(1):131-136. |
| APA | 陈赟,李艳茹,&张红胜.(2014).基于ZnS金属网栅制作工艺的改进.中国光学(1),131-136. |
| MLA | 陈赟,et al."基于ZnS金属网栅制作工艺的改进".中国光学 .1(2014):131-136. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进.caj（466KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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