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移位测量装置
曾琪峰 孙强 李也凡 张立华 甘泽龙
2014-11-19
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2014-11-19
授权国家中国
专利类型发明
摘要移位测量装置,涉及一种移位测量装置,为进一步提高信号的平均作用,需要在同样的探测单元数量的情况下,包含更多的探测周期,尽量在设计体积要求更小,或者光源的光斑所占的面积较小等制约下提高信号质量,包括标准光栅和光电读数头,光电读数头包括光源、指示光栅、光电接收单元和信号处理电路。光电接收单元由多个探测单元组成,多个探测单元组成探测单元阵列,并分成三个组,同相位的探测单元属于同一个组,同一个组的探测单元是相互连接的。光电接收单元探测至少一个周期性扫描信号。该光源发出入射光线,经由该扫描掩膜和该标准光栅调制,该光电接收单元接收经过调制的光信号。本发明所述的移位测量装置能有效提高信号的抗污染能力。
专利号201210088557.6
语种中文
专利状态公开
申请号201210088557.6
PCT属性
专利代理人陶尊新
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42119
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
曾琪峰 孙强 李也凡 张立华 甘泽龙. 移位测量装置. 201210088557.6[P]. 2014-11-19.
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文件名: CN201210088557-移位测量装置-审定授权.pdf
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