一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法

	一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法
	范镝
	2014-05-28
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2014-05-28
授权国家	中国
专利类型	发明
摘要	一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法，涉及精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法，它解决现有测量光学自由曲面的方法存在检测范围小、测量数度低、检测周期长，并且测量点是离散的、缺乏连续性，同时测量装置结构复杂、价格昂贵的问题，首先进行计算全息图的制造，根据被检平面基自由曲面的相关数据和离轴抛物镜的口径、焦距、离轴量等数据在玻璃基底上制作计算全息图；再将数字激光干涉仪、计算全息图和离轴抛物镜安置在预设位置，使得数字激光干涉仪发出的理想球面波通过计算全息图后形成的光经过离轴抛物镜反射后形成的波前与理想被检自由曲面波前一致；最后将被检平面基自由曲面安置在预设位置。
专利号	201110439188.6
语种	中文
专利状态	公开
申请号	201110439188.6
PCT属性	是
专利代理人	陶尊新
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42041
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	范镝. 一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法. 201110439188.6[P]. 2014-05-28.

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CN201110439188-一种精确测（354KB）			开放获取	CC BY-NC-ND	浏览下载