中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	Fabrication of metallic micromirror using electroplating technology
	Zhang P(张平); Wu YH(吴一辉); Liu YS(刘永顺); Xuan M
	2011-10-01
发表期刊	Microsyst Technol
ISSN	0946-7076
卷号	17期号:10页码:1671-1674
收录类别	SCI ; EI
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3975
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhang P,Wu YH,Liu YS,et al. Fabrication of metallic micromirror using electroplating technology[J]. Microsyst Technol,2011,17(10):1671-1674.
APA	Zhang P,Wu YH,Liu YS,&Xuan M.(2011).Fabrication of metallic micromirror using electroplating technology.Microsyst Technol,17(10),1671-1674.
MLA	Zhang P,et al."Fabrication of metallic micromirror using electroplating technology".Microsyst Technol 17.10(2011):1671-1674.

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