Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试 | |
龚学鹏 ; 卢启鹏; 彭忠琦
| |
| 2013-02-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
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| 期号 | 02页码:308-313 |
| 摘要 | 针对上海光源谱学显微光束线站的性能要求,对其核心部件单色器进行结构设计。阐述了单色器的扫描运动原理,论述了波长扫描机构的设计方案,具体分析平面镜和光栅的转角重复精度影响因素;描述光栅切换机构,着重分析其水平偏差、垂直偏差、滚角、摆角和投角的精度问题;采用六杆并联机构的方案完成镜箱调节机构的设计,分析其支杆的调节范围和分辨力情况。给出了单色器的结构,并且对其精度进行了测试。测试结果表明,平面镜和光栅的转角重复精度分别为0.166″和0.149″;光栅切换机构的滚角、摆角和投角的重复精度分别为0.08″、0.12″和0.05″。这说明了单色器的结构设计方案和机械精度满足技术要求。 |
| 关键词 | 光学器件 同步辐射 谱学显微 单色器 机械结构 重复精度 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38904 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚学鹏,卢启鹏,彭忠琦. 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试[J]. 光学学报,2013(02):308-313. |
| APA | 龚学鹏,卢启鹏,&彭忠琦.(2013).软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试.光学学报(02),308-313. |
| MLA | 龚学鹏,et al."软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试".光学学报 .02(2013):308-313. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精（457KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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