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基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究
薛庆生; 王淑荣
2013-05-15
发表期刊光谱学与光谱分析
期号05页码:1433-1437
摘要根据凹面光栅的几何像差理论,提出了一种基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计方法,该方法利用遗传算法和光学设计软件ZEMAX两次优化来获得最优的光学结构参数。以设计一个远紫外成像光谱仪为实例,工作波段110~180nm,狭缝尺寸50μm×5mm,数值孔径0.1,利用ZEMAX软件对设计结果进行了分析和评价,结果表明,不同波长的光学传递函数在奈奎斯特频率101P/mm处均大于0.7,点列图半径的均方根值小于14μm,在工作波段内获得了良好的成像质量,满足空间分辨率0.5mrad,光谱分辨率0.6nm的设计要求,也证明了该优化设计方法是可行的,可在其他波段推广应用,对光栅色散型成像光谱仪的设计具有指导意义。
关键词成像光谱仪 光学设计 超环面均匀线距光栅 遗传算法 Zemax
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38877
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
薛庆生,王淑荣. 基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究[J]. 光谱学与光谱分析,2013(05):1433-1437.
APA 薛庆生,&王淑荣.(2013).基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究.光谱学与光谱分析(05),1433-1437.
MLA 薛庆生,et al."基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究".光谱学与光谱分析 .05(2013):1433-1437.
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